中微公司官微消息顯示，6月9日，中微公司在上?？偛颗e辦電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設備Primo nanova®第100臺反應腔交付客戶慶祝儀式。
據介紹，Primo nanova®是中微公司于2018年正式發布的第一代電感耦合等離子體刻蝕設備。該設備采用了中微公司具有自主知識產權的電感耦合等離子體刻蝕技術，目前該產品已成功進入海內外十余家客戶的晶圓生產線，在領先的邏輯芯片、DRAM 和3D NAND廠商的生產線上實現大規模量產。
中微公司稱，第100腔Primo nanova®刻蝕設備的順利交付，是公司ICP刻蝕產品業務發展新的里程碑，標志著產品發展邁入新的階段。
